koob.ru

Фото-, электроно-, и рентгенорезисты

Автор книги: Боков Ю.С. | Раздел библиотеки: Физика

Посвящена вопросам получения фото-, электроно- и рентгенорезистов и применения их в технологии микроэлектронных изделий. Приведена классификация регистрирующих защитных материалов, изложены основные химические и физико-химические принципы их создания. Рассмотрены свойства различных типов фото-, электроно- и рентгенорезистов и особенности их применения, а также перспективы дальнейшего развития техники защитных материалов.

Для инженеров-технологов, специализирующихся в области химической технологии микроэлектроники.

Добавить отзыв о книге
Авторы сайта
Владимир Никонов & Георгий Ефимов
Библиотека «Куб»
Поддержать проектПодписаться